انشىء مركز التوثيق والميكروفيلم عام 1970 من أجل خدمة قطاعات الجهاز وكذلك الجهات الخارجية على ان يقوم المركز بالمهام الآتية :

1-      تجهيز الوثائق ميكروفيلميا ورقميا لسهولة التداول والحفظ والاسترجاع .

2-      اعداد الدراسات المتكاملة الخاصة بإنشاء مراكز التوثيق والميكروفيلم وكذلك تقديم خدمة الإستشارات في هذا المجال للجهات الخارجية .

3-      تعتبر الإدارة العامة للتوثيق والميكروفيلم ذاكرة التاريخ لكل ماتم انتاجه بالجهاز ومن أهم محتويات المكتبة الميكروفيلمية :

·         تعدادات السكان منذ 1882 وحتى 2006 .

·         التعداد الاقتصادي منذ سنة 1991/1992 : 2000/2001 .

·         سلسلة تاريخية لجميع إصدارات الجهاز منذ انشاءه (التاريخ الإحصائى فى أرقام)